Estudio comparativo del peso molecular y otras variables en la obtención de películas delgadas poliméricas por spin coating

Abstract

En este trabajo se buscó obtener películas delgadas de polimetilmetametacrilato (PMMA), haciendo uso de la técnica spin coating. Para la obtención de las mismas se utilizaron: dos polímeros de peso molecular distinto, dos solventes, dos concentraciones y cuatro velocidades de giro. Posteriormente, una selección de películas fue degrada por medio de plasma etching usando tres tiempos de exposición distintos. Para caracterizar las muestras obtenidas se utilizaron las siguientes técnicas: Elipsometría, donde se obtuvo un promedio del grosor con base en la superficie de cada película y Microscopia Electrónica de Barrido (SEM) en donde el grosor de los filmes fue observado mediante un corte transversal. El propósito de este trabajo es obtener un estudio más detallado sobre la importancia de las variables utilizadas en la obtención de películas poliméricas. Para conocer esta información, se llevó a cabo un análisis de inferencia estadística y finalmente se determinó la ecuación que describiera el comportamiento del grosor de las películas en función de los parámetros utilizados.